離子束加工是利用高速運(yùn)動(dòng)離子束的動(dòng)能進(jìn)行陶瓷加工。它可進(jìn)行納米級(jí)的超精細(xì)加工。它是在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)加速、聚焦，使之轟擊工件表面。與電子束不同之處在于，離子束比電子束具有更大的撞擊動(dòng)能，它是靠微觀機(jī)械撞擊能量而不是靠動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能進(jìn)行加工的。它最大的應(yīng)用是離子刻蝕，離子刻蝕是一種原子尺度的切削加工，又稱為離子銑削。
離子束技術(shù)是不斷發(fā)展和完善的新型技術(shù)，它的應(yīng)用范圍非常廣泛，加工的對(duì)象種類繁多又千變?nèi)f化，幾乎包括整個(gè)陶瓷材料科學(xué)的研究對(duì)象。離子束加工是近20年來(lái)用在陶瓷鏡面加工中的一種計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成型方法。離子束加工是一種高精度、確定性強(qiáng)的非接觸式加工方法。由于離子束加工時(shí)對(duì)材料的去除是原子量級(jí)的，所以說(shuō)離子束加工是高精度的加工方法。由于離子束束流大小容易控制，而且束流分布比較穩(wěn)定，所以，用離子束加工可以獲得穩(wěn)定的束函數(shù)，加工過(guò)程確定性高，面形收斂快，也不存在小磨頭磨損的問(wèn)題。離子束加工不存在邊緣效應(yīng)，而且離子束加工是非接觸式加工方法，非常適合于陶瓷材料的加工，也適合于異型鏡的加工；由于離子束的這些優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)外離子束加工已成為陶瓷加工的一種常用方法。
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本文“陶瓷離子束加工介紹”由科眾陶瓷編輯整理，修訂時(shí)間：2019-03-16 16:19:11
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